최근에는 주요 소식 반도체 업계에서 새로운 도약이 시작되었습니다. 일본 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 슬러리 대기업 AGC(구 아사히 글라스 주식회사)가 공급 중단을 발표했습니다. Fab1 DSTI 슬러리(재료 번호: M2701505, AGC-TW) 생산이 중단된 것으로 알려졌습니다. 이러한 갑작스러운 조치는 업계 관계자들의 관심을 끌었습니다.
분석가들은 공급 차질의 직접적인 원인이 대만의 주요 반도체 화학물질에 대한 새로운 수출 검토 정책이라고 지적합니다. 이 정책은 특정 고급 소재의 수출에 대한 더욱 엄격한 통제를 강화합니다. 이는 첨단 제조 공정에 필요한 여러 제품 모델에 영향을 미칩니다.
AGC는 대만에 생산 기지를 두고 있으며, 주로 아시아 시장에 공급하고 있습니다. 따라서 중국 본토의 여러 다운스트림 웨이퍼 팹은 긴급하게 대안을 모색하고 있습니다. 일부 팹은 다른 해외 공급업체 및 국내 브랜드로부터 조달을 늘리기 시작했습니다. 그러나 단기적으로는 공급 부족 현상이 지속될 수 있습니다.
CMP: 웨이퍼를 위한 초평탄 스테이지
집적 회로 기술의 발전, 특히 서브마이크론 시대의 도래와 함께, 피처 크기 감소와 소자 밀도 향상에 대한 요구가 증가함에 따라 층간 평탄도의 중요성이 더욱 커지고 있습니다. 이에 따라 반도체 기판의 초정밀 표면 처리 및 고품질 표면 품질에 대한 요구가 지속적으로 증가하고 있습니다.
현재, 화학 기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing)씨엠피)는 글로벌 평탄화를 달성할 수 있는 유일한 핵심 기술입니다. 집적 회로 부품의 최소 피처 크기가 7nm, 심지어 5nm까지 작아짐에 따라 CMP 기술은 최근 수십 년 동안 빠르게 발전해 왔습니다. CMP 기술의 연마 정밀도는 이제 나노미터 수준에 도달하여 반도체 제조에 널리 채택되고 있습니다.
CMP는 나노 스케일 집적 회로 생산의 표준 공정으로 자리 잡았으며, 무어의 법칙의 지속적인 발전을 뒷받침하고 있습니다. 반도체 공정에서 CMP는 웨이퍼 표면을 매우 평탄하게 유지하여 리소그래피 및 에칭과 같은 후속 단계를 위한 견고한 기반을 제공합니다. CMP는 첨단 칩 제조에 필수적인 공정입니다.
슬러리 핵심 소재 분야의 획기적인 기술에 대한 긴급한 필요성
CMP는 연마액과 대상 물질 사이의 화학 반응을 통해 물질을 제거하고 표면 평탄도를 향상시킵니다. 슬러리 내 연마 입자의 기계적 작용은 다음과 같습니다.
따라서 연마액은 CMP 공정의 핵심 소모품 중 하나이며, 그 성능은 연마 효율과 칩 표면 품질에 직접적인 영향을 미칩니다.
현재 글로벌 CMP 슬러리 시장은 고도로 집중되어 있으며, 미국과 일본 제조업체가 시장의 80% 이상을 장악하고 있습니다. 일본 기업은 고급 부문을 지배하고 있습니다.
일부 중국 기업이 저가 및 중가 제품군에서 대체를 달성했지만, 중가 및 고가 제품의 자급률은 여전히 20% 미만으로, 국내 대체 제품의 필요성이 시급히 대두되고 있습니다.
중·고급 연마액의 자급자족이 어려운 주요 원인 중 하나는 핵심 원자재의 현지화가 불완전하기 때문입니다.
예를 들어 연마재를 살펴보겠습니다. CMP에서 가장 일반적으로 사용되는 세 가지 연마재는 Al₂O₃, SiO₂, CeO₂입니다. 이 연마재들은 웨이퍼 표면에서 재료를 제거하는 데 필요한 기계적 힘을 제공하며 CMP 슬러리의 필수 원료입니다.
요약
SMIC와 화홍 반도체 등 14nm 이하 생산 라인에서는 월 1,000톤 이상의 연마 슬러리를 소비하는 것으로 알려졌습니다. 공급이 감소하면 생산 라인 가동이 중단될 수 있습니다.
한 주요 웨이퍼 제조 업체는 연마 슬러리 재고가 일반적으로 1~2개월밖에 지속되지 않는다고 밝혔습니다. 공급 차질이 지속될 경우, 3분기 생산 용량이 10%까지 감소할 수 있어 상황이 매우 긴급해질 수 있습니다.
이 사건은 경고의 의미를 갖습니다. 공급망 보안은 장비와 칩에만 국한되지 않고 연마 슬러리와 고순도 알루미나와 같은 상류 재료와 같은 중요한 소모품도 포함되며, 두 가지 모두 여전히 취약한 병목 현상으로 남아 있습니다.
중국 반도체 소재 산업은 대외 의존도를 줄이기 위한 노력을 가속화해야 합니다. 그렇지 않으면 유사한 위기가 재발하여 중국 반도체 산업의 장기적인 발전을 위협할 수 있습니다.
에픽 파우더
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